Sentris 半导体器件故障分析热成像显微镜

optotherm Sentris Thermal Emmi Microscope是一台专用于电子、半导体失效分析和缺陷定位的红外热发射显微镜系统，高分辨的红外热成像显微镜结合Lock in 锁相系统，该锁相热成像系统配置丰富，功能强大，可实现5um空间分辨率，0.001℃温度分辨率，可以定位低于100uw的缺陷，远优于传统液晶定位技术，是XRAY、EMMI、OBIRCH等技术的补充和部分替代。