optotherm Sentris Thermal Emmi Microscope是一台专用于电子、半导体失效分析和缺陷定位的红外热发射显微镜系统,高分辨的红外热成像显微镜结合Lock in 锁相系统,该锁相热成像系统配置丰富,功能强大,可实现5um空间分辨率,0.001℃温度分辨率,可以定位低于100uw的缺陷,远优于传统液晶定位技术,是XRAY、EMMI、OBIRCH等技术的补充和部分替代。
optotherm Sentris Thermal Emmi Microscope是一台专用于电子、半导体失效分析和缺陷定位的红外热发射显微镜系统,高分辨的红外热成像显微镜结合Lock in 锁相系统,该锁相热成像系统配置丰富,功能强大,可实现5um空间分辨率,0.001℃温度分辨率,可以定位低于100uw的缺陷,远优于传统液晶定位技术,是XRAY、EMMI、OBIRCH等技术的补充和部分替代。