而MEMS气体传感器由于其体积小（mm级），传感器需要自加热到一定温度后，其传感器的精度才能达到最高，这就要求在研发和测试过程中对MEMS气体传感器的电阻丝温度测量，需要使用红外热成像显微镜，如图电阻丝只有几十微米