Micro科研级红外热成像显微镜

Optotherm Micro科研级红外热成像显微镜,是专为科研级微观热成像和热分布测量设计的，其具有有5um的空间分辨率，以及像素级的发射率校正功能，是微米级MEMS、光电器件、微型医疗器件等用来做微观热分布及测量、热表征的强大工具。
包括半导体芯片在内的许多微型电子器件由诸如半导体衬底，金属层和陶瓷的各种材料组成。这些材料具有不同的发射率特性，因此发射不同水平的红外能量，Optotherm Micro则很好的完成这种微观层面的真实热分布度量。